數字式氣體質量流量控制器

簡要描述：

CS310C數字式氣體質量流量控制器產品類型：高精度型,快響應型,全金屬密封型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

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CS310C數字式氣體質量流量控制器產品類型：

高精度型,快響應型,全金屬密封型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

CS310C數字式氣體質量流量控制器技術參數：

產品型號	CS310C
產品類型	高精度型,快響應型,全金屬密封型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
流量量程	1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產品精度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional),±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional)
重復精度	±0.2% FS
線性	±0.5% F.S.
響應時間	≤0.8sec
工作溫度范圍	(0~50)°C
耐壓	3.5MPa
密封材料	金屬密封 Metal
輸入輸出信號	RS-485,DeviceNet
電源	±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類型	常開或常閉
溫度系數	Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃
零點飄移指標	＜0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接	D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率	1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式	VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化學成分	Cr/Fe ratio ＞2.0,CrO thickness ＞20 Angstroms
表面粗糙度	5µinch
抗電磁干擾	CE
重量	1Kg